How much do you know about the principle of inficon vacuum gauges?

inficon真空計是一種用于測量高真空度區域內的氣體壓力（空氣密度低到低于大氣壓的范圍內）的儀器。其工作原理基于氣體分子與表面之間的碰撞，以及氣體分子在真空條件下的運動(dòng)特性。

它的種類(lèi)很多，這些儀器以不同的原理來(lái)工作，例如熱電子與陰極陰離子的流動(dòng)、大流量吸收、容積測壓與振動(dòng)方式等。不同的真空計具有不同的特點(diǎn)和優(yōu)缺點(diǎn)，可以根據實(shí)際需要選擇合適的儀器。

inficon真空計的基本原理：

包括兩個(gè)電極，其中一個(gè)電極為陽(yáng)極（陰極射線(xiàn)管或電子槍?zhuān)?，另一個(gè)電極為陰極（接收器）。當加上高壓電源后，陽(yáng)極會(huì )發(fā)射出電子束，經(jīng)過(guò)真空區域時(shí)與氣體分子發(fā)生碰撞，使其電離并生成電子離子對。這些離子對在電場(chǎng)的驅動(dòng)下運動(dòng)，并在陰極表面產(chǎn)生電流。

采用不同的電極結構和電路設計，真空計可以實(shí)現不同的測量范圍和靈敏度。其中，熱陰極真空計利用熱電子發(fā)射的原理，在真空區域中產(chǎn)生電子，并通過(guò)電子與氣體分子的碰撞計算氣體壓力；而冷陰極真空計則通過(guò)陰極表面的氣體吸附和解吸來(lái)測量氣壓，其靈敏度比熱陰極真空計高，適用于更廣泛的測量范圍。

總之，inficon真空計在許多應用中都有廣泛的應用，例如太陽(yáng)能電池、微電子領(lǐng)域的材料研究、半導體加工廠(chǎng)和航空制造廠(chǎng)等。不同的真空計具有不同的測量范圍、體積、靈敏度等特點(diǎn)。因此在選擇和使用真空計時(shí)，需要根據實(shí)際情況進(jìn)行評估，以選擇最適合的儀器。